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在生产环节中,干式真空泵因夏天温度过高,真空度始终上不去,叶轮也会因为腐蚀或气蚀问题需经常更换,同时也会经常出现卡死盘不动车的情况,因腐蚀真空度上不去,因此喷气口位置还会出现喷油情况。种种情况虽然维修费用并不多,但会影响整体生产速度也很是尴尬。
所以我们针对干式真空泵的具体特点,进行了详细讲解,同时大家也是时候了解真正的干式真空泵究竟是如何实现运转效果的。
在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展,国外市场正处于蒸蒸日上阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业有45%以上都在用干式真空泵代替油封式机械泵,大层面上提高了产品性能和质量。
为满足不同应用领域和不同工况的具体要求,国外相继研发出:螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵、涡轮式无油真空泵……而干式真空泵的极限压力可以从10Pa达到10²Pa范围内,抽速从20m³/h达到500m³/h范围。
吸气和排气原理与多数真空泵原理相似,利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转所产生吸气、排气作用的抽气设备。在作业过程中,相互间不存在任何摩擦,运转稳定、噪音低、工作腔不需要润滑油,所以干式真空泵可以抽除含有大量水蒸汽、少量粉尘。
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